六甲基二硅氮烷

英文名称 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
中文别名 六甲基二硅亚胺;1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷;六甲基二硅胺烷;HMDS
CAS RN 999-97-3
EINECS号 213-668-5
分 子 式 C6H19NSi2
分 子 量 161.39
危险品标志 F:Flammable
 C:Corrosive
风险术语 R11; R20/21/22; R34;
安全术语 S16; S26; S36/37/39; S45;
物化性质 性 状 无色透明液体、无毒、略带胺味
用  途 为阿米卡星药用中间体，是羟基及氨基保护剂；特种有机合成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。