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| 用途 | 中间体 |
| 型号 | 六氟磷酸铯 |
| 包装规格 | 工业级 |
| 外观 | - |
| CAS编号 | |
| 别名 | 六氟磷酸铯 |
| 纯度 | 99% |
| 重金属 | 10ppm |
六氟磷酸铯
外观 白色晶体性粉末
含量 ≥99.0％
产品规格 | 光学级 | 出口级 | 工业级 |
执行标准 | SEMI C1 | Mint Standard | Mint Standard |
外观 | 白色晶体性粉末 | 白色晶体性粉末 | 白色晶体性粉末 |
含量 | ≥99.0％ | ≥98.5％ | ≥98.0％ |
氯化物（Cl） | ≤100 ppm | ≤0.1％ | ≤0.1％ |
硫酸盐（SO42-） | ≤100 ppm | ≤0.1％ | ≤0.1％ |
硅(Si) | ≤100 ppm | ≤0.1％ | ≤0.1％ |
钠(Na) | ≤10 ppm | ≤0.01％ | ≤0.01％ |
铁（Fe） | ≤10 ppm | ≤0.01％ | ≤0.01％ |
铅（Pb） | ≤10 ppm | ≤0.01％ | ≤0.01％ |
砷（As） | ≤1 ppm | ≤1 ppm | ≤1 ppm |
重金属（Pb） | ≤20 ppm | ≤20 ppm | ≤20 ppm |
游离氟(F) | ≤0.1 % | ≤0.2 % | ≤0.2 % |
干燥失重 | ≤0.5 % | ≤0.5 % | ≤1.0 % |
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